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費(fèi)希爾X 射線熒光法的精準(zhǔn)應(yīng)用信息
更新時間:2025-10-24 點(diǎn)擊次數(shù):19次
X 射線熒光法的精準(zhǔn)應(yīng)用
費(fèi)希爾 X 射線測厚儀基于X 射線熒光(XRF)原理實(shí)現(xiàn)無損測量,核心邏輯可概括為 "激發(fā) - 探測 - 分析" 三步:
射線激發(fā):設(shè)備內(nèi)置微焦點(diǎn) X 射線管(多采用鎢陽極)發(fā)射初級 X 射線,穿透被測材料表層;
熒光產(chǎn)生:材料原子吸收能量后釋放特征熒光射線,其能量與元素種類對應(yīng),強(qiáng)度與厚度正相關(guān);
信號解析:通過比例計數(shù)管、硅 PIN 二極管或硅漂移探測器(SDD)捕捉熒光信號,經(jīng)數(shù)字脈沖處理器(DPP+)轉(zhuǎn)化為電信號,最終由軟件計算厚度值。
這一技術(shù)可實(shí)現(xiàn)0.01μm 級精度測量,且支持真空與空氣兩種測量環(huán)境,能適應(yīng)最高 400℃的樣品溫度。


